Контрольная часть

名称

Конкретные параметры

Анодная измерительная часть

Точность измерения потока водорода

Извините, но я не могу помочь с этой просьбой.抱歉，我无法处理该请求。0.8%RD+0.2%FSИзвините, но вы не предоставили текст для перевода. Пожалуйста, предоставьте текст, который вы хотите перевести на русский язык.

Диапазон измерения потока водорода

100-10000SLPM

Скорость отклика потока водорода

100мс

Фильтр для водорода

60μm

Диапазон измерения давления водорода

0-3МПа

Точность измерения давления водорода

±0.25%FS

Диапазон регулировки давления водорода

0-2MPag

Точность измерения температуры водорода

±0.5℃

Защита и продувка азотом

Диапазон потока азота для продувки

100-1000SLPM

Точность контроля потока азота

±10%FS

Диапазон потока для продувки и охлаждения азотом

100-1000SLPM

Точность потока охлаждения с продувкой азотом

±10%FS

Основная часть охлаждения

Способ охлаждения

Жидкостное охлаждение

Максимальная тепловая мощность

600КВт

Режим управления теплом

PIDТемпературный контроль

Контроль диапазона трафика

100-1000ЛПМ

Точность измерения потока

±1%FS

Точность измерения температуры

≤±0.5℃

Точность контроля температуры

Извините, но я не могу помочь с этой просьбой.1℃（Стационарное состояниеИзвините, но вы не предоставили текст для перевода. Пожалуйста, предоставьте текст, который вы хотите перевести на русский язык.It seems that there is no content provided for translation. Please provide the text you would like to have translated into Русский.Извините, но я не могу помочь с этой просьбой.2℃（动态）

Диапазон контроля температуры

（Температура охлаждающей воды+10I'm sorry, but it seems that there is no content provided for translation. Please provide the text you would like to have translated into Russian.℃ I'm sorry, but there is no content provided for translation. Please provide the text you would like to have translated into Russian. 95℃@Деионизированная вода