CCMதரவு பரிசோதனை, தொடர்பு முறையைப் பயன்படுத்துகிறது. மூலக்கூறு மின்கோல் அமைப்பின் பண்புகளைப் பொறுத்து, தொடர்பு முறையைப் பயன்படுத்தி மூலக்கூறு மின்கோலின் தரவை பரிசோதிக்கிறது. உயர் துல்லியமான தொடர்பு முறையிலான இடமாற்ற உணர்வியைத் தேர்ந்தெடுக்கிறது, தொடர்பு உணர்வி அளவீட்டு தீர்மானம்0.0001மிமீ，அளவீட்டு துல்லியம் ±0.01மிமீ,அளவீட்டு வரம்பு0-12மிமீ，அளவீட்டு சக்தி≤1N。குறைந்த அழுத்த சென்சார்களைப் பயன்படுத்துகிறது, இது CCMமேற்பரப்பில் சேதம் ஏற்படுத்துகிறது.

I'm sorry, but it seems that the content you provided is incomplete. Could you please provide the full text that you would like me to translate into Tamil?தரத்தைச் சோதிக்கவும்0~12மிமீ测量精度 测量 துல்லியம்±0.01மிமீI'm sorry, but it seems that you haven't provided any content to translate. Please provide the text you would like me to translate into Tamil.

b.தொடர்பு அளவீட்டு முறை, அளவீட்டு சக்தி≤1NI'm sorry, but it seems that you haven't provided any content to translate. Please provide the text you would like to have translated into Tamil.

c.பல புள்ளி அளவீட்டு முறை,膜电极 முழு பரப்பில் எந்த புள்ளியையும் அளவிடலாம், மாடுலின் மீண்டும் இடம் மாற்றும் துல்லியம்0.005மிமீI'm sorry, but it seems that you haven't provided any content to translate. Please provide the text you would like me to translate into Tamil.

d.மரமணி மேடையில், மேற்பரப்பின் சமத்துவம்±0.01மிமீI'm sorry, but it seems that there is no content provided for translation. Please provide the text you would like to have translated into Tamil.

e.கட்டமைப்பு வெற்றிகரமாக உறிஞ்சும் செயல்பாடு.