温度範囲: -70°C~150°C
温度変動: ≤±0.5°C (大気圧無負荷)
温度均一性: ≤2.0°C (大気圧無負荷)
温度偏差: ≤±2°C (大気圧無負荷)
温度上昇および下降率: 1°C/2°C/5°C/10°C分 (オプション)
圧力範囲: 大気圧 ~0.5KPa
圧力精度: ±2KPa (通常圧力 ~40KPa);
±5%（4KPa〜40KPaのとき）；±0.1KPa（1KPa〜4KPaで）
降圧率: ≤45分 (大気圧→1KPa)
作業サイズ：非標準カスタマイズ

温度範囲：-70℃～150℃

温度波動度：≤±0.5℃（常圧空載）

温度均匀度：≤2.0℃（常圧空載）

温度偏差：≤±2℃（常圧空載）

昇降温速率：1℃/2℃/5℃/10℃min（可選） 

圧力範囲：常圧～0.5KPa

圧力精度：±2KPa（常圧～40KPa時）；

±5％（4KPa～40KPa時）；±0.1KPa（1KPa～4KPa時）

降圧速度申し訳ありませんが、翻訳するテキストが提供されていません。翻訳が必要なテキストを提供してください。≤45分（常圧→1KPa）

工作尺寸：非標定制